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產(chǎn)品詳細(xì)頁
VP-5ZA 精密垂直線性位移臺
簡要描述：VP-5ZA 精密垂直線性位移臺是一種超薄型精密垂直位移臺，非常適合于半導(dǎo)體晶片檢測、光子測試和封裝、微型組裝、精密計量和表面檢測系統(tǒng)。VP-5ZA 基于 VP-25X 線性位移臺中使用的已經(jīng)通過行業(yè)驗證的技術(shù)，提供高可靠性運(yùn)動，具有納米靈敏度、高響應(yīng)性和直線軌跡。垂直運(yùn)動的精度為 4.8 mm，具有傾斜平面概念超薄型設(shè)計，采用簡化的 XYZ 配置
產(chǎn)品型號：- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
- 更新時間：2024-11-08
- 訪 問 量：545
產(chǎn)品介紹
| 品牌 | Newport/美國 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
VP-5ZA 精密垂直線性位移臺產(chǎn)品規(guī)格
- 行程范圍4.8 mm
- 最小位移增量60 nm
- 最大速度5 mm/s
- 中心負(fù)載能力50 N
- 精度，典型值±0.6 µm
- 精度，保證值±1.5 µm
- 雙向重復(fù)精度，典型值±0.10 µm
- 雙向重復(fù)精度，保證值±0.25 µm
- 單向重復(fù)精度，典型值±0.06 µm
- 單向重復(fù)精度，保證值±0.15 µm
- 驅(qū)動螺距1 mm
- 減速輪5:1
- 編碼器分辨率0.0196 µm
- 限位開關(guān)Optical
- 原點(diǎn)Optical, centered
- 原點(diǎn)重復(fù)精度±0.1 µm
- 連接器DB25 Male
- 俯仰，典型值±30 µrad
- 俯仰，保證值±50 µrad
- 俯仰順應(yīng)性45 µrad/Nm
- 滾轉(zhuǎn)，典型值±30 µrad
- 滾轉(zhuǎn)，保證值±100 µrad
- 滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性50 µrad/Nm
- 偏擺，典型值±30 µrad
- 偏擺，保證值±50 µrad
- 偏擺順應(yīng)性10 µrad/Nm
- 電纜長度1.5 m
- 螺紋類型4-40 and 8-32 or M3 and M4 (M- version)
- 重量2.4 kg
- MTBF20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
- RoHSCompliant
VP-5ZA 精密垂直線性位移臺特征
構(gòu)建薄型 XYZ 平移臺疊堆
超薄精密 XYZ 系統(tǒng)由兩個VP-25XA 線性平移臺和一個 VP-5ZA 垂直平移臺組成。與傳統(tǒng)平移臺疊堆相比，該解決方案提供了一種超薄替代方案，可從任何方向輕松接近負(fù)載。
保持軸承上的有效載荷
VP-5ZA 的提升方法可實現(xiàn)有效載荷在軸承上定心，并靠近位置反饋。這樣可以避免可引起角變形的任何懸臂負(fù)載，并產(chǎn)生具有更高載重能力的更精確的運(yùn)動。
VP-5ZA平移臺安裝在ILS高性能中程行程線性平臺的頂部，可選的VP-BP底板。
高效的傾斜平面設(shè)計
使用兩個楔形的布置可產(chǎn)生純垂直運(yùn)動，兩個楔形通過傾斜的循環(huán)滾珠軸承和兩對垂直安裝的雙列線性滾珠軸承滑塊移動通過彼此。
廣泛的平移臺兼容性
頂板上的螺紋孔圖案提供了與VP-25X 線性平移臺和其他 Newport 定位產(chǎn)品的兼容性。還提供用于晶片卡盤的標(biāo)準(zhǔn) 3 點(diǎn)安裝接口。要將 VP-5ZA 安裝到光學(xué)平臺或ILS 線性平移臺，請使用可選的VP-BP底座?？梢允褂闷筋^螺絲刀方便地進(jìn)行手動垂直調(diào)整。
高轉(zhuǎn)矩直流電機(jī)
一種高效、高轉(zhuǎn)矩直流電機(jī)，具有精密預(yù)裝長使用壽命的滾珠絲杠，可確保高速運(yùn)動并縮短穩(wěn)定時間。高分辨率線性刻度直接連接到移動軌道，消除了所有傳動系統(tǒng)引起的運(yùn)動誤差。此外，節(jié)省空間的固定讀取頭設(shè)計避免了任何電纜移動。結(jié)果是一個堅固耐用的平移臺，MTBF 為 20000 小時。
Compatible Controllers
Compatible motion controllers for the VP-5ZA stage are:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.
●SMC100CC Single Axis DC Motor Controller.
See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.
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